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高周波電源

QP series(スパッタ・エッチング・ICP用)

特長

当社の高周波電源は、薄膜製造装置(スパッタリング、エッチング、プラズマCVD、イオンプレーティング)及び分析装置(ICP、NMR)と幅広い分野に活躍しています。

仕様

型名 QP-500A
QP-500AW
QP-1000A
QP-1000AW
QP-1800A
QP-1800AW
QP-2500AW QP-5000AW
出力電力(W) 500W 1000W 1800W 2500W 5000W
周波数 13.56MHz 27.12MHz 40.68MHz 13.56MHz
出力
インピー
ダンス
50Ω
出力安定度 長時間ドリフト ±0.1%/30分
温度ドリフト ±200ppm/℃
RFリップル 1%以下
反射波
保護電力
100W 200W 360W 500W 1000W
高調波 -50dBc以下

お問い合わせはPS_components@nasu.toshiba.co.jpまでメールでお願いします。